PECVD設(shè)備 CC-200
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品 ?????牌：
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單????? 價：
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面議面議
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最小起訂：
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發(fā)貨期限：
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自買家付款之日起 3起 天內(nèi)發(fā)貨
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所??在?地：
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山東省 青島 |
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供貨總量：
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有效期至：
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長期有效 |
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聯(lián)系我時，請?zhí)峒霸诎俜骄W(wǎng)看到，會有優(yōu)惠。
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
產(chǎn)品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對應(yīng)從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。
產(chǎn)品特性：
? 27.12MHz高密度等離子制程
? SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應(yīng)SiO2膜
? 以CF4+O2 Plasma實現(xiàn)腔體清潔功能
? 可對應(yīng)有機(jī)EL（OLED）的低溫成膜用heater
? 使用Tray可搬送多種基板尺寸
? 通過使用真空Box實現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）
產(chǎn)品應(yīng)用：
? 功率器件
? LED、LD、高速device等化合物相關(guān)
? 有機(jī)EL（OLED）開發(fā)
? 太陽電池開發(fā)
免責(zé)聲明：以上所展示PECVD設(shè)備 CC-200的信息由自行提供，內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)。百方網(wǎng)建議優(yōu)先選擇由中國電器供應(yīng)商提供的PECVD設(shè)備 CC-200
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